山东理工大学分析测试中心购置的X射线光电子能谱仪已完成参数调试，将于9月15日开始对外运行，欢迎广大师生了解、预约、使用和合作。

一、仪器信息

型    号：Thermo Scientific ESCALAB QXi+

存放地：1号实验楼南侧负一层B105

联系人：彭辉

电    话：15053367816

二、功能简介

主要功能：

1.固体材料（包括粉末材料，如金属、半导体、陶瓷、催化剂、矿物、导电玻璃、表面镀膜材料等）表面的元素成分定性、定量检测及元素价态分析；

2.离子枪或者离子团簇枪清洁表面，将污染物清理之后，再对表面的元素成分定性、定量检测及元素价态分析；

3.样品元素组分沿深度（纵向）变化的检测；离子刻蚀材料表面层以下深度的成分和价态定性、定量分析。

其他功能：

1.mapping：XPS成像模式 ；

2.UPS（紫外光电子能谱）；

3.ISS（离子散射谱）；

4.REELS（反射电子能量损失谱）；

5.变角度测试（AR-XPS）；

6.准原位高低温测试；

7.原位光照测试。

三、设备主要参数

1.真空系统性能：≤7.0×10^-10mbar

2.X射线源：Al靶；

3.能量分辨率及灵敏度（Ag3d5/2峰）：0.45eV@150kcps，0.5eV@650kcps；

4.最小束斑：20µm；

5.平行成像空间分辨率：1µm；

6.刻蚀系统：单离子模式及团簇模式；

7.紫外光电子能谱：He紫外光源，对Ag费米边，能量分辨率≤0.1eV；

8.离子散射谱（ISS）：在1 keV He离子作用于清洁金表面，能量分辨≤12eV时，灵敏度≥25kcps/nA；

9.反射电子能量损失谱（REELS）：能量分辨率为0.5eV时，灵敏度≥1000kcps；

10.准原位加热冷却系统：温控范围-100~700℃；

11.原位光照系统：氙灯光源，波长200~1100nm；

12.敏感样品转移器：可抽真空，可充惰性气体。

四、样品要求

1.本仪器不接受易挥发、易吸水、易腐蚀样品，磁性或含有卤族元素的样品请务必提前告知。

2.块状样品高度需控制在5mm以内，大小需控制在10mm*10mm以内，尽量控制样品越小越好。

3.对于隐瞒样品导致设备故障或损坏的，用户课题组需承担相应的维修费及误工费。

五、预约要求

1.所有用户需严格遵守中心安全管理相关规章制度，按照要求送样并在大型仪器设备管理平台预约。

2.样品请送至XPS实验室。

3.预约咨询请联系设备负责人，或QQ群：1025737644，入群二维码如下：

                                                             分析测试中心

                                                                   2025年9月11日