我校微纳结构加工测试平台4台设备已安装调试完毕，将于2024年4月7日开始对外运行。欢迎有需求的校内师生、校外科研人员预约测试。

一、设备信息

1.双球差校正透射电子显微镜

仪器型号： Themis Z

性能指标：  TEM信息分辨率≤60 pm@300kV;

STEM 分辨率≤60 pm@300kV

能谱仪 能量分辨率：≤136 eV (Mn-Ka)；

元素分析范围：B(5)–Am(95)。

测试项目： 形貌表征：低倍TEM；低倍STEM;

结构分析：高分辨率TEM，电子衍射，高分辨率STEM；

成分分析：EDS Spectrum, 原子级EDS Mapping。

2.聚焦离子束显微镜

仪器型号：Scios 2 HiVac

性能指标：离子束种类：液态Ga离子源;

交叉点分辨率：3.0 nm@30kV

加速电压：0.5kV-30kV；

流强度：0.6 pA-65 nA

测试项目：高质量定点TEM样品制备;

金属、半导体、多层膜结构等固体样品的加工和制备。

3.超快透射电子显微镜

仪器型号：Talos F200i

性能指标：信息分辨率：≤0.12 nm;

线分辨率：≤0.1nm;

测试项目：形貌表征：低倍TEM；低倍STEM;

结构分析：高分辨率TEM，电子衍射；

成分分析：EDS Spectrum, EDS Mapping；

超快功能暂未开放。

4.场发射扫描电子显微镜

仪器型号：Apreo S HiVac

性能指标: 分辨率：0.7 nm@15 kV;0.8 nm@1 kV（开减速模式）;

加速电压：0.2 kV-30 kV；

束流强度：1 pA-400 nA

测试项目： 金属材料、陶瓷材料、高分子材料、纳米材料等固体样品的微观形貌、微区成分及晶体取向分析。

二、收费标准

双球差校正透射电子显微镜： 3000元/小时（校外）；1500元/小时（校内）；

聚焦离子束显微镜：2000元/小时（校外）； 1000元/小时（校内）；

超快透射电子显微镜：400元/样品（校外）；100元/样品（校内）；

场发射扫描电子显微镜：240元/样品（校外）；60元/样品（校内）。

三、运行方式

2024年4月8日-2024年7月13日（本学期末），平台试运行，试运行期间收费标准按正常收费标准的8折执行。试运行结束后恢复正常价格。

预约平台网址：http://211.64.28.108/genee/；

测试地点：1号实验楼南楼一楼、负一楼；

测试咨询电话：

冯  柳，13589498883（双球差校正透射电子显微镜）

高  蔷，19811736698（聚焦离子束显微镜）

王晓文，13864302307（超快透射电子显微镜）

张旭良，15545956594（场发射扫描电子显微镜）

                                                 分析测试中心

                                                     2024年4月3日