仪器名称
离子研磨仪 预 约  
仪器型号 IM4000 仪器类别 分析仪器
仪器厂商 日本日立公司 仪器原值 75.00万元
购买时间 2014年 启用时间 2015年
机组负责人 王晓文 服务领域 材料、机械、化工、冶金
所在单位 分析测试中心 有效期 0000-00-00
技术指标

加速电压,0-6 kV

放电电压,0-1.5 kV

放电电流,0-560 μA

平面研磨台,研磨点速率≥20 µm/h(硅)

平面研磨台,研磨面速率≥2 µm/h(硅)

截面研磨台,研磨速率≥300 µm/h(硅)

配有质量流量控制器,可自动控制离子束流

主要功能 可以对样品进行离子平面研磨和离子截面研磨,主要用于扫描电子显微镜试样的制备,是截面样品制备和平面样品无应力抛光的理想工具。

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